特征线宽为20nm时，光刻图形的分辨率是 条/mm
举一反三
- 中国大学MOOC: 分辨率为10000条（线）/mm的光刻，其特征线宽是 nm
- 现有一台K1为0.48，数值孔径（NA）为0.62，使用i线（波长365nm）曝光的光刻机，那么它的分辨率是______ nm，______ （能/不能）使用它光刻最小线宽为200nm的图形；如果将该光刻机光源改为KrF准分子激光（波长为248nm），那么______ （能/不能）使用它光刻最小线宽为200nm的图形。
- 现在的集成电路及封装的特征线宽可能为 A: 20μm，20μm B: 20μm，2mm C: 20nm，20μm D: 20nm，200nm
- 透射电镜的最高分辨率是（ ） A: 1.0-2.0 nm B: 0.1-0.2 nm C: 1-2 μm D: 1-2 mm
- 光学显微镜的分辨率是()。 A: cm B: mm C: μm D: nm