电子束入射固体样品表面会激发哪些信号?它们有哪些特点和用途?
1)背散射电子:能量高；来自样品表面几百nm深度范围；其产额随原子序数增大而增多.用作形貌分析、成分分析以及结构分析。
2)二次电子:能量较低；来自表层5—10nm深度范围；对样品表面化状态十分敏感。不能进行成分分析.主要用于分析样品表面形貌。
3)吸收电子:其衬度恰好和SE或BE信号调制图像衬度相反;与背散射电子的衬度互补。吸收电子能产生原子序数衬度，即可用来进行定性的微区成分分析.
4)透射电子：透射电子信号由微区的厚度、成分和晶体结构决定.可进行微区成分分析。5)特征X射线: 用特征值进行成分分析，来自样品较深的区域
6)俄歇电子:各元素的俄歇电子能量值很低；来自样品表面1—2nm范围。它适合做表面分析。7）阴极荧光：入射电子束发出材料表面时，从样中激发出来的可见光或红外光。
8）感应电动势：入射电子束照射半导体器件的PN结时，将产生由于电子束照射而引起的电动势。9）弹性与非弹性散射电子：可以采用不同检测仪器，将其转变为放大的电信号，并在显像管荧光屏上显示出来，测试样品的形貌结构和成分。
2)二次电子:能量较低；来自表层5—10nm深度范围；对样品表面化状态十分敏感。不能进行成分分析.主要用于分析样品表面形貌。
3)吸收电子:其衬度恰好和SE或BE信号调制图像衬度相反;与背散射电子的衬度互补。吸收电子能产生原子序数衬度，即可用来进行定性的微区成分分析.
4)透射电子：透射电子信号由微区的厚度、成分和晶体结构决定.可进行微区成分分析。5)特征X射线: 用特征值进行成分分析，来自样品较深的区域
6)俄歇电子:各元素的俄歇电子能量值很低；来自样品表面1—2nm范围。它适合做表面分析。7）阴极荧光：入射电子束发出材料表面时，从样中激发出来的可见光或红外光。
8）感应电动势：入射电子束照射半导体器件的PN结时，将产生由于电子束照射而引起的电动势。9）弹性与非弹性散射电子：可以采用不同检测仪器，将其转变为放大的电信号，并在显像管荧光屏上显示出来，测试样品的形貌结构和成分。
举一反三
内容
- 0
电子束入射固体样品表面激发的信号不包括。 A: 二次电子 B: 光电子 C: 俄歇电子 D: 特征X射线
- 1
电子束入射固体样品表面会激发出的信号中，哪一种能用来非常有效地显示样品的表面形貌 A: 二次电子 B: 背散射电子 C: 特征X射线 D: 透射电子
- 2
电子束与固体物质作用可以产生哪些主要的检测信号？这些信号产生的原理是什么？它们有哪些特点和用途？
- 3
电子束入射固体样品表面会激发出背散射电子，二次电子，()。 A: 吸收电子 B: 特征X射线 C: 透射电子 D: 俄歇电子
- 4
电子束与固体样品相互作用，可以产生以下哪些信号（）