等离子体刻蚀反应室中，射频电压的两个极板大小
A: 两个极板都要尽量大一些。
B: 两个极板都要尽量小一些。
C: 放置晶圆的极板大于对面极板。
D: 放置晶圆的极板小于对面极板。
A: 两个极板都要尽量大一些。
B: 两个极板都要尽量小一些。
C: 放置晶圆的极板大于对面极板。
D: 放置晶圆的极板小于对面极板。
举一反三
- 一平板空气电容器两个极板都是半径为r的圆导体片，两极板间的距离为d，在充电时，两个极板所加的电压随时间的变化率为，若略去边缘效应，则两极板间的位移电流为（ ）
- 电容器电容量的大小和（）无关。 A: 两极板间距离 B: 极板的几何尺寸 C: 两极板电压 D: 极板间填充介质
- 一平板空气电容器两个极板都是半径为r的圆导体片，在充电时，两个极板电场强度随时间的变化率为，若略去边缘效应，则两极板间的位移电流( )
- 当平行板电容器充电后，去掉电源，在两极板间充满电介质，其正确的结果是： A: 两极板间电场强度变小． B: 两极板间电势差变大． C: 极板上自由电荷减少． D: 两极板间电场强度不变．
- 当平行板电容器充电后，去掉电源，在两极板间充满电介质，其正确的结果是 A: 极板上自由电荷减少 B: 两极板间电势差变大 C: 两极板间电场强度变小 D: 两极板间电场强度不变