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  • 2022-10-26
    硅片制备中的倒角工艺是为了磨掉硅片边缘的棱角,使之变光滑的技术,国际上倒角的规格没有特殊要求,只要光滑即可。
    A: 正确
    B: 错误
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    举一反三

    • 中国大学MOOC: 硅片制备中的倒角工艺是为了磨掉硅片边缘的棱角,使之变光滑的技术,国际上倒角的规格没有特殊要求,只要光滑即可。
    • 为了去除表面的杂质、缺陷,进一步去除硅片表面微量的损伤层,需要进行的工艺是 A: 倒角 B: 磨片 C: 化学腐蚀 D: CMP
    • 为了去除表面的杂质、缺陷,进一步去除硅片表面微量的损伤层,需要进行的工艺是 。 A: CMP B: 研磨 C: 倒角 D: 化学腐蚀
    • 冲裁凸、凹模的工作边缘要求有()。 A: 尖锐的刃口 B: 光滑的圆角 C: 45°倒角
    • 下面选项中不属于晶圆制备中的整型处理的是()。 A: 倒角 B: 去掉两端 C: 径向研磨 D: 硅片定位边和定位槽

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