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  • 2022-10-27
    物理提纯法制备多晶硅过程中,硅参加了化学反应。 ( )
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    举一反三

    • 制备半导体级硅的过程:制备工业硅 、生长硅单晶、提纯。
    • 化学气相沉积直接制备多晶硅薄膜的方法有()。 A: 热丝化学气相沉积制备多晶硅 B: 低压化学气相沉积制备多晶硅 C: 非晶硅晶化制备多晶硅薄膜 D: 等离子增强化学气相沉积
    • 制备半导体级硅的过程:制备工业硅 、生长硅单晶、提纯。 A: 正确 B: 错误
    • 硅(Si)易于通过沉积工艺制备出单晶硅、多晶硅 和非晶硅薄膜材料。
    • 所谓多晶硅薄膜的间接制备法,就是先制备得到( )薄膜,再通过不同的晶化技术,将其晶化为多晶硅薄膜。 A: 非晶硅 B: 单晶硅 C: 微晶硅 D: 多晶硅

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      过程中 法制 加了 反应 化学反应 多晶硅 物理 提纯 参加 过程 多晶 化学 制备

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