半导体硅单晶锭加工制备成晶片,根据晶片质量管理的要求需要利用四探针测试装置对( )进行检测。
A: 硅片厚度
B: 硅片平整度
C: 硅片薄层电阻
D: 硅片杂质浓度
A: 硅片厚度
B: 硅片平整度
C: 硅片薄层电阻
D: 硅片杂质浓度
C
举一反三
内容
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将硅锭切割成硅片的过程中,多线切割对硅片造成的损伤层的厚度约为()μm。 A: A10 B: B20 C: C5 D: D15
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将硅锭切割成硅片的过程中,多线切割对硅片造成的损伤层的厚度约为()μm。 A: 10 B: 20 C: 5 D: 15
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清洗硅片的原则是去除硅片表面的杂质和沾污和防止再污染。( )
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中国大学MOOC: 清洗硅片的原则是去除硅片表面的杂质和沾污和
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硅片制造完成后,封装之前检验硅片上每个芯片是否合格的测试是