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  • 2022-10-27
    从刻蚀工艺上可以将刻蚀分为什么种类?
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    举一反三

    • 在刻蚀工艺中,具有最高选择性的刻蚀工艺是 A: 等离子体刻蚀 B: 干法刻蚀 C: 湿法刻蚀 D: 物理刻蚀
    • 在刻蚀工艺中,减少工艺的压力可以提高刻蚀气体的平均自由程,刻蚀气体容易达到薄膜表面,可以降低宏观负载效应。
    • 工艺上用于反映横向刻蚀程度的参数是: A: 刻蚀速率 B: 刻蚀因子 C: 均匀性 D: 选择比
    • 刻蚀工艺有哪两种类型?简单描述各类刻蚀工艺。
    • 微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种( )。 A: 离子束刻蚀、激光刻蚀 B: 干法刻蚀、湿法刻蚀 C: 溅射加工、直写加工 D: 激光刻蚀、电子束刻蚀

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