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  • 2022-10-27
    离子注入能够重复控制杂质的浓度和深度,因而在几乎所有应用中都优于扩散。
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    举一反三

    • 离子注入能够重复控制杂质的浓度和深度,因而在几乎所有应用中都优于扩散。 A: 正确 B: 错误
    • 以下关于离子注入优点的选项中,()的说话是错误的。 A: 离子注入能够重复控制杂质的浓度和深度,因而在几乎所有应用中都优于扩散。 B: 横向扩散现象很小 C: 很好的杂质均匀性 D: 注入杂质的纯度高,属于低温工艺
    • 离子注入方法和扩散方法均能精确控制杂质的浓度。
    • 离子注入方法和扩散方法均能精确控制杂质的浓度。 A: 正确 B: 错误
    • 离子注入控制电参量,故易于精确控制注入离子的密度分布、浓度分布可以通过改变注入能量加以控制。

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