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  • 2022-10-27
    对于浓度覆盖很宽的杂质原子,可以采用()方法引入到硅片中。
    A: 离子注入
    B: 溅射
    C: 淀积
    D: 扩散
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    举一反三

    • 对于浓度覆盖很宽的杂质原子,可以采用()方法引入到硅片中。 A: A离子注入 B: B溅射 C: C淀积 D: D扩散
    • 离子注入方法和扩散方法均能精确控制杂质的浓度。
    • 下面属于物理气相淀积方法的是() A: 真空蒸发 B: 溅射 C: 扩散 D: 刻蚀
    • 有限表面源扩散与离子注入的杂质分布都满足高斯函数,两种掺杂工艺杂质最高浓度位置都在硅片表面。
    • 使掺杂的离子加速到一定的能量,使之注入到晶体中,经过退火使杂质激活,从而达到掺杂的目的,这种工艺称为: A: 蒸发 B: 溅射 C: 刻蚀 D: 离子注入

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      覆盖 片中 离子注入 杂质 硅片 方法 注入 溅射 采用 扩散 离子 原子 引入 可以 对于 浓度 很宽

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