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  • 2022-10-27
    反应离子深刻蚀得到的刻蚀深度与刻蚀窗口的大小有关,刻蚀深度随刻蚀窗口的减小而减小,这个现象称为(______ )。
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    举一反三

    • 当刻蚀线条时,刻蚀的深度V与一边的横向增加量ΔX的比值称之为()。 A: 刻蚀速率 B: 刻蚀均匀性 C: 刻蚀选择比 D: 刻蚀因子
    • 刻蚀方法有哪些?() A: 化学刻蚀 B: 离子刻蚀 C: 电解刻蚀 D: 以上均不是
    • 两种刻蚀方法中,属于各向同性刻蚀的是: A: 干法刻蚀 B: 湿法刻蚀 C: 离子刻蚀 D: 溅射刻蚀
    • 离子束刻蚀也可称为溅射刻蚀,该刻蚀过程为()。 A: 化学性刻蚀 B: 既有物理刻蚀又包含化学刻蚀 C: 物理性刻蚀 D: 其他选项都不正确
    • 中国大学MOOC: 刻蚀的主要参数包括刻蚀速率、刻蚀因子、刻蚀选择性、刻蚀清洁度和

    热门题目

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    • 预应力筋的实际伸长值与计算伸长值相差不得大于±()% A: A、5 B: B、6 C: C、3
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      这个 窗口 大小 称为 有关 深刻 减小 反应 刻蚀 小有 得到 深度 离子 现象

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