关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！ 2022-10-26 外延生长工艺流程是（）。①硅片清洁处理 ②氯化氢气相抛光 ③系统的清洁处理 ④降温取片 ⑤外延生长 A: ①②③④⑤ B: ①②③⑤④ C: ③①②⑤④ D: ③①②④⑤ 外延生长工艺流程是（）。①硅片清洁处理 ②氯化氢气相抛光 ③系统的清洁处理 ④降温取片 ⑤外延生长A: ①②③④⑤B: ①②③⑤④ C: ③①②⑤④D: ③①②④⑤ 答案： 查看 举一反三 气相外延生长硅需要进行抛光，常用的抛光物质 硅外延生长工艺包括（）。 A: A衬底制备 B: B原位HCl腐蚀 C: C生长温度，生长压力，生长速度 D: D尾气的处理 硅外延生长工艺包括 A: 衬底制备 B: 原位HCl腐蚀 C: 生长温度、压力、速度 D: 尾气处理 延生长方法比较多，其中主要的有（）外延、（）外延、金属有机化学气相外延、（）外延、原子束外延、固相外延等。 高阻衬底材料上生长低阻外延层的工艺称为正向外延。
