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  • 2022-10-26
    增加热氧化速率的方法有哪些?
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    举一反三

    • 中国大学MOOC: 增加热氧化速率的方法有哪些?
    • 增加热氧化速率的方法有哪些? A: 增加氧化剂压力 B: 提高温度 C: 进行掺杂 D: 选用合适的氧化方法,例如湿氧氧化
    • 热氧化速率快慢排序: 氧化最快、 氧化次之、 氧化最慢。 A:
    • 下面是与硅热氧化速率有关的论述,哪种论述正确: A: 因为水汽在硅氧化层中的溶解度(也就是平衡浓度)远大于氧气,所以水汽的氧化速率比干氧氧化快得多 B: 温度对抛物线氧化速率影响大,对线性氧化速率影响小 C: 在氧化层很薄时增加氧气分压,比在氧化层较厚时增加氧气分压,对提高氧化速率的影响更大 D: 氧化层较厚时,可以忽略硅晶向对热氧化速率的影响
    • 影响热氧化速率的因素有 A: 温度 B: 氧化方式 C: 压力 D: 掺杂

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