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  • 2022-10-27
    在光刻前处理工艺中涂覆HMDS的目的是增强分辨率。
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    举一反三

    • 在光刻前处理工艺中涂覆HMDS的目的是增强分辨率。 A: 正确 B: 错误
    • 中国大学MOOC: 光刻工艺中的HMDS增黏处理的方法有两种,分别是()和()。
    • 在光刻工艺中,涂覆光刻胶主要采用旋转涂覆法。为便于夹取,光刻胶经硬烘烤后,需要将晶圆四周的光刻胶用物理方法除去。
    • LOM工艺后置处理中的表面涂覆工艺的优点不包括
    • 光刻工艺中的HMDS增黏处理的方法有两种,分别是旋转涂布法和()。 A: 正性涂布法 B: 负性涂布法 C: 选择涂布法 D: 气相涂底法

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