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  • 2022-10-27
    利用含有较高能量的呈束流状的物质流(能量流)与硅片表面的沾污杂质发生的作用而清除硅片表面杂质的技术为
    A: 气相清洗
    B: 束流清洗
    C: RCA清洗
    D: 超声波清洗
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    举一反三

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    • 中国大学MOOC: 清洗硅片的原则是去除硅片表面的杂质和沾污和
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