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  • 2022-10-27
    试说明半导体制造中扩散工艺的主要目的。列出并解释实际扩散工艺的主要步骤,并说明个步骤的主要作用和工艺温度。
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    举一反三

    • 列出半导体工艺史上的几个主要工艺,并说明当前的主流工艺是什么,以及该工艺的主要优点?
    • 计算:一扩散工艺,在进行了54min扩散后,测得结深是2.38μm,若要获得2.5μm的结深,在不改变工艺方法和工艺温度的情况下,应再扩散 ______ 分钟。
    • CMOS工艺中为什么要形成侧墙?在哪一个工艺环节形成及为什么?并说明其形成步骤及主要作用。
    • 例举离子注入工艺和扩散工艺相比的优点和缺点。
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    热门题目

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      制造 半导体 作用 列出 体制 说明 扩散工艺 主要 实际 散工 温度 步骤 并说 扩散 解释 目的 导体 要目 工艺 主要目

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