186.离子注入的过程中，在同样的硅片面积下，注入的束流大小与注入时间直接决定剂量的大[br][/br]小，束流越大、注入时间越长，达到的剂量越大。
举一反三
- 离子注入的过程中,在同样的硅片面积下,注入的束流大小与注入时间直接决定剂量的大小,束流越大、注入时间越长,达到的剂量越大。( )
- 为了降低注入离子对衬底由于热沉积产生的温升，在高剂量、大束流离子注入时，可以采用（）扫描方式，在低剂量、小束流时一般用（）方式注入。
- 离子注入机根据能量和束流大小可以分为: A: 高能注入机 B: 低能注入机 C: 大束流注入机 D: 中束流注入机
- 以下是离子注入过程中的主要工艺参数的是( )。 A: 注入均匀性 B: 离子注入剂量 C: 离子射程 D: 束流密度
- 由于注入的束流尺寸比较小,一般小于晶圆尺寸,因此注入时需要离子注入系统中的: A: 束流聚焦系统 B: 吸极 C: 磁分析器 D: 束流扫描