常见的干法清洗有:等离子体清洗、气相清洗、UV/O3清洗等等。
对
举一反三
内容
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硅片的清洗主要分为两大类，干法清洗和（）清洗。
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常见的清洗方法有：（）（）（）（）。 A: 湿法化学清洗 B: 超声清洗法、兆声清洗法 C: 鼓泡清洗法、擦洗法 D: RCA 标准清洗、等离子体清洗
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中国大学MOOC: 下面（）清洗方法属于干法清洗？
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下列哪项不属于常见的清洗方法（） A: 清洗机清洗 B: 超声波清洗 C: 手工清洗 D: 去离子水清洗
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机械零件装配时，除油方法有擦洗、浸洗、喷洗、气相清洗以及超声波清洗等。