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  • 2022-06-04
    浸润式光刻技术通过在光学镜头和带胶硅片之间填充水的方式提高了光刻机的分辨率,填充的水中有气泡并不影响光刻结果
    A: 正确
    B: 错误
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    举一反三

    • 在传统光刻机的光学镜头与晶圆之间的介质可用水替代空气,以缩短曝光光源波长和增大镜头的数值孔径,从而提高分辨率,这种光刻技术是: A: 极紫外光光刻 B: 电子束光刻 C: 离子束光刻 D: 浸润式光刻
    • 浸入式光刻技术可以提高光刻的分辨率。 A: 正确 B: 错误
    • 浸入式光刻技术可以提高光刻的分辨率。
    • X射线光刻、电子束光刻和极紫外光刻技术均是通过减小光源波长来提高分辨率的先进光刻技术。 A: 正确 B: 错误
    • 光刻技术中的曝光方式主要包括下面哪几种?()。 A: 压印式光刻 B: 投影式光刻 C: 接近式光刻 D: 接触式光刻

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