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  • 2022-06-17
    清洗工序减薄量的计算方式()。
    A: (刻蚀前重量-刻蚀后重量)*刻蚀因子
    B: 刻蚀前重量-刻蚀后重量
    C: 刻蚀后重量*刻蚀因子
    D: 刻蚀前重量*刻蚀因子
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    举一反三

    • 中国大学MOOC: 刻蚀的主要参数包括刻蚀速率、刻蚀因子、刻蚀选择性、刻蚀清洁度和
    • 当刻蚀线条时,刻蚀的深度V与一边的横向增加量ΔX的比值称之为()。 A: 刻蚀速率 B: 刻蚀均匀性 C: 刻蚀选择比 D: 刻蚀因子
    • 下面选项中属于刻蚀的主要参数的有()等。 A: 刻蚀速率和刻蚀因子 B: 刻蚀选择比 C: 刻蚀均匀性和良好形貌 D: 各向同性与各向异性
    • 工艺上用于反映横向刻蚀程度的参数是: A: 刻蚀速率 B: 刻蚀因子 C: 均匀性 D: 选择比
    • 离子束刻蚀也可称为溅射刻蚀,该刻蚀过程为()。 A: 化学性刻蚀 B: 既有物理刻蚀又包含化学刻蚀 C: 物理性刻蚀 D: 其他选项都不正确

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      重量 工序 计算 方式 因子 清洗 刻蚀

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