关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！ 2021-04-14 关于硅的热氧化，下面哪种说法正确： 关于硅的热氧化，下面哪种说法正确： 答案： 查看 举一反三 关于硅的热氧化，下面哪种说法正确： A: 湿氧比干氧慢得多； B: 水汽氧化层比干氧氧化层致密； C: 氧化反应是在Si/SiO2界面发生的； D: 升高氧气（或水汽）分压不影响生长速率。 热氧化工艺本质上是在硅与二氧化硅 发生的硅的氧化反应。 中国大学MOOC: 二氧化硅热氧化有多种方式，下面关于氧化方式对生长速率影响的说法正确的是（）。 简述什么是硅热氧化以及氧化的工艺目的、氧化方式及其化学反应式。 中国大学MOOC: 热氧化工艺本质上是在硅与二氧化硅 发生的硅的氧化反应。
