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  • 2021-04-14
    关于光学光刻,下列哪种方法可以获得高分辨率?? 使用移相掩膜技术制备的光刻版|光源为紫光|采取浸入式光刻方法|驻波效应对分辨率无影响
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    举一反三

    • 关于光刻分辨率,下列哪一种说法是错误的() A: 减小波长可以提高分辨率 B: 采用浸入式光刻可以提高分辨率 C: 使用移相掩膜技术制备的光刻版可以提高分辨率 D: 接近式光刻的分辨率可以达到50nm
    • 下面哪些选项可以提高光刻技术的分辨率? A: 移相掩膜技术 B: 邻近效应校正技术 C: 采用浸入式光刻技术 D: 提高光源的波长
    • 浸入式光刻技术可以提高光刻的分辨率。
    • 以下方法中,哪些不可以可以提高光刻的分辨率 A: 离轴照明技术 B: 临近效应修正技术 C: 移相掩膜技术 D: 增加波长
    • 浸入式光刻技术可以提高光刻的分辨率。 A: 正确 B: 错误

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