微型机电系统将微型机械结构和微电子系统集成在一起，把几个系统集成在一块硅基片上，或是把几个带有集成系统的硅基片键合而在一起，成为多功能的复合微型机电系统。
举一反三
- 叙述MEMS（微型机电系统）的基本特征，目前有哪些微型机械加工技术？
- 当前微机电系统正向（）发展，即集微型机械、微型传感器、微型执行器、信号处理与控制电路、接口、电源和通信等单元于一体，成为一个完整的机械电子系统。 A: 专业化方向 B: 微型化方向 C: 多功能化方向 D: 低碳化方向
- 新一代农业气象业务服务系统（省级）系统，其总系统集成采用三种集成方式：________集成、组件式集成，________集成
- 微型攻击系统是指用于攻击敌方的智能微机电系统。
- 在微型计算机中,将运算器和控制器集成在一块大规模或超大规模集成电路芯片上,称为 () A: 运算处理单元 B: 微型计算机系统 C: 主机 D: 微处理器