当前微机电系统正向（）发展，即集微型机械、微型传感器、微型执行器、信号处理与控制电路、接口、电源和通信等单元于一体，成为一个完整的机械电子系统。
A: 专业化方向
B: 微型化方向
C: 多功能化方向
D: 低碳化方向
A: 专业化方向
B: 微型化方向
C: 多功能化方向
D: 低碳化方向
举一反三
- N十一3()系统是指利用大规模集成电路制造工艺,经过微米级加工,得到的集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。MEMS技术属于物联网的信息采集层技术。 A: 微电 B: 微机 C: 微电脑 D: 微机电
- 一个完整的MEMS是由微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通讯接口和电源等部件组成的一体化的微型器件系统。()
- MEMS是微机电系统的英文缩写。它是由（）等部件组成的一体化的微型器件系统 A: 微传感器 B: 微执行器 C: 信号处理和控制电路 D: 通讯接口和电源
- 微型机电系统将微型机械结构和微电子系统集成在一起，把几个系统集成在一块硅基片上，或是把几个带有集成系统的硅基片键合而在一起，成为多功能的复合微型机电系统。
- 叙述MEMS（微型机电系统）的基本特征，目前有哪些微型机械加工技术？