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  • 2022-10-27
    离子注入法有哪些优点?
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    举一反三

    • 关于离子注入掺杂,说法正确的有() A: 离子注入对半导体晶格没有损伤 B: 离子注入利用电场来控制离子的注入深度 C: 离子注入利用磁场来筛选注入的离子 D: 将半导体晶片偏转一定的角度可以避免离子注入遇到的沟道效应
    • 与扩散源相比,离子注入有哪些优点?
    • 离子注入的过程中,掺杂物的浓度是有离子电流与注入时间相乘所决定的。( )
    • 以下是离子注入过程中的主要工艺参数的是( )。 A: 注入均匀性 B: 离子注入剂量 C: 离子射程 D: 束流密度
    • 离子注入控制电参量,故易于精确控制注入离子的密度分布、浓度分布可以通过改变注入能量加以控制。

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