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  • 2022-10-27
    RIE的含义是
    A: 溅射刻蚀
    B: 反应离子刻蚀
    C: 等离子体刻蚀
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    举一反三

    • 以下刻蚀方法中,不属于各向同性的刻蚀是()。 A: 湿法刻蚀 B: 溅射刻蚀 C: 等离子体刻蚀 D: 反应离子刻蚀
    • 三种干法刻蚀方法中,选择性最好的是 。 A: 等离子刻蚀 B: 溅射刻蚀 C: 反应离子刻蚀 D: 湿法刻蚀
    • 反应离子刻蚀是 A: 化学刻蚀机理 B: 物理刻蚀机理 C: 物理的溅射刻蚀和化学的反应刻蚀相结合
    • 两种刻蚀方法中,属于各向同性刻蚀的是: A: 干法刻蚀 B: 湿法刻蚀 C: 离子刻蚀 D: 溅射刻蚀
    • 干法刻蚀主要包括下面几类()。 A: 离子束刻蚀IBE B: 等离子体刻蚀PE C: 反应离子刻蚀RIE D: 高密度等离子体刻蚀HDP

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