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  • 2022-10-27
    离子注入之后为修复晶格损伤和激活杂质,必须进行退火
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    举一反三

    • 离子注入后需要进行退火,退火的目的是激活杂质和 A: 修复晶格损伤 B: 减少表面沾污 C: 抑制沟道效应 D: 降低饱和压降
    • 离子注入会将原子撞击出晶格结构而损伤硅片晶格,高温退火过程能使硅片中的损伤部分或绝大部分得到消除,掺入的杂质也能得到一定比例的电激活。
    • 离子注入后为什么要进行退火?
    • 离子注入后为什么要进行热退火
    • 离子注入后,硅片晶格结构遭到破坏,因此需要通过退火进行修复。 A: 正确 B: 错误

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    相关标签

      进行 后为 离子注入 损伤 之后 晶格 杂质 注入 修复 激活 离子 必须 退火

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