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  • 2022-10-27
    离子注入后为什么要进行退火?
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    举一反三

    • 离子注入后为什么要进行热退火
    • 离子注入后为什么要退火?
    • 离子注入之后为修复晶格损伤和激活杂质,必须进行退火
    • 关于离子注入掺杂,说法正确的有() A: 离子注入对半导体晶格没有损伤 B: 离子注入利用电场来控制离子的注入深度 C: 离子注入利用磁场来筛选注入的离子 D: 将半导体晶片偏转一定的角度可以避免离子注入遇到的沟道效应
    • 使掺杂的离子加速到一定的能量,使之注入到晶体中,经过退火使杂质激活,从而达到掺杂的目的,这种工艺称为: 。 A: 扩散 B: 快速热退火 C: 刻蚀 D: 离子注入

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