光刻流程中通过加温烘烤使胶膜更牢固地黏附在晶圆表面，并可
以増加胶层的抗刻蚀能力的工艺步骤是（）。
A: 坚膜
B: 前烘
C: 后烘
D: 涂胶
A: 坚膜
B: 前烘
C: 后烘
D: 涂胶
举一反三
- 坚膜就是通过加温烘烤使胶膜更牢固地黏附在晶圆表面，并可 以増加胶层的抗刻蚀能力。
- 中国大学MOOC: 光刻流程中通过加温烘烤使胶膜更牢固地黏附在晶圆表面，并可 以増加胶层的抗刻蚀能力的工艺步骤是（）。
- 坚膜就是通过加温烘烤使胶膜更牢固地黏附在晶圆表面，并可 以増加胶层的抗刻蚀能力。 A: 正确 B: 错误
- 中国大学MOOC: 坚膜就是通过加温烘烤使胶膜更牢固地黏附在晶圆表面，并可 以増加胶层的抗刻蚀能力。
- 光刻工艺是按照下列哪种流程顺序进行操作的?() A: 打底膜、前烘、涂胶、曝光、坚膜、显影、刻蚀、去胶 B: 打底膜、涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、去胶、刻蚀 C: 打底膜、涂胶、前烘、曝光、坚膜、显影、刻蚀、去胶 D: 打底膜、涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、刻蚀、去胶