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  • 2022-10-27
    光刻过程中存在各种缺陷,如玻璃表面的胶膜皱起呈桔皮状或胶膜大片剥离,此种现象称为()。
    A: 浮胶
    B: 毛刺和钻蚀
    C: 小岛
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    举一反三

    • 光刻中影响甩胶后光刻胶膜厚的因素有()、()、()、()。
    • 涂好胶的晶元软烘(前烘)后光刻胶膜厚将减薄。
    • 在光刻工艺中,前烘的主要目的是()。 A: 蒸发掉胶中的有机溶剂成分,使晶圆表面的胶固化 B: 缓和在旋转过程中光刻胶膜内产生的应力 C: 
防止沾污设备 D: 增强光刻胶的粘附性
    • 涂好胶的晶元软烘(前烘)后光刻胶膜厚将减薄。 A: 正确 B: 错误
    • 二层或更多层玻璃之间用塑胶膜组合成的玻璃,叫夹层玻璃.()

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      过程中 各种 此种 称为 刻过 玻璃 小岛 皱起 表面 大片 面的 缺陷 毛刺 过程 胶膜 桔皮 钻蚀 光刻 存在 剥离 现象

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