化学气相淀积
一种或数种物质的气体，以某种方式激活后，在衬底发生化学反应，并淀积出所需固体薄膜的生长技术。
举一反三
内容
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简述化学气相淀积的概念？
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简述化学气相淀积的原理？
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【简答题】低压化学气相淀积的淀积速率主要受什么因素控制,为什么?
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中国大学MOOC: 常见的化学气相淀积方法有
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化学气相淀积（CVD）的概念，有哪五种基本化学反应？