关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！ 2022-10-26 中国大学MOOC: PECVD相对LPCVD方法来说，显著的优点是 中国大学MOOC: PECVD相对LPCVD方法来说，显著的优点是 答案： 查看 举一反三 PECVD相对LPCVD方法来说，显著的优点是 A: 温度比较低 B: 薄膜制备的纯度比较高 C: 淀积速度比较快 D: 淀积的薄膜结构比较致密 比较APCVD、LPCVD和PECVD三种方法的主要异同?主要优缺点? APCVD、LPCVD、PECVD和HDPCVD中文名称分别是？ 作为芯片保护膜、钝化膜的氮化硅是以PECVD、LPCVD中的 ______ 方法制备的。 中国大学MOOC: LPCVD紧随PECVD的发展而发展。由660℃降为450℃，采用增强的等离子体，增加淀积能量，即低压和低温。
