PECVD的中文名称为：______。
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PECVD中，等离子体的激励方式有 。
PECVD中，等离子体的激励方式有 。
APCVD、LPCVD、PECVD和HDPCVD中文名称分别是？
APCVD、LPCVD、PECVD和HDPCVD中文名称分别是？
如果要求淀积非金属薄膜的台阶覆盖性（保角特性）好，应该使用下列哪种工艺？ A: APCVD B: APCVD C: PECVD D: PECVD
如果要求淀积非金属薄膜的台阶覆盖性（保角特性）好，应该使用下列哪种工艺？ A: APCVD B: APCVD C: PECVD D: PECVD
简述太阳能电池片制造PECVD的目的及原理？
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PECVD的特气是有毒，无色，无味的气体。
PECVD的特气是有毒，无色，无味的气体。
LPCVD和PECVD的不同包括: A: LPCVD 主要采用加热的方式提供化学反应的能量 B: PECVD主要采用等离子体提供能量 C: LPCVD温度比较高,只能用于金属前介质的淀积 D: PECVD温度比较低,适合金属间介质的淀积
LPCVD和PECVD的不同包括: A: LPCVD 主要采用加热的方式提供化学反应的能量 B: PECVD主要采用等离子体提供能量 C: LPCVD温度比较高,只能用于金属前介质的淀积 D: PECVD温度比较低,适合金属间介质的淀积
缩略语PECVD、LPCVD、HDPCVD和APCVD的中文名称分别是（ ）、（ ）、（）、和（ ）。
缩略语PECVD、LPCVD、HDPCVD和APCVD的中文名称分别是（ ）、（ ）、（）、和（ ）。
中国大学MOOC: PECVD相对LPCVD方法来说，显著的优点是
中国大学MOOC: PECVD相对LPCVD方法来说，显著的优点是
pecvd的p指的是（）。 A: 射频 B: 气相 C: 等离子体 D: 增强
pecvd的p指的是（）。 A: 射频 B: 气相 C: 等离子体 D: 增强