根据化学反应的形式，化学气相沉积可分为
A: 热分解反应沉积
B: 合成反应沉积
C: 化学反应沉积
D: 热还原反应沉积
A: 热分解反应沉积
B: 合成反应沉积
C: 化学反应沉积
D: 热还原反应沉积
举一反三
- 气相沉积法分为（）和化学沉积法；化学沉积法按反应的能源可分为热能化学气相沉积、（） 。
- 化学气相沉积（CVD）按照反应气压进行分类，可以分为？ A: 常压化学气相沉积 B: 低压化学气相沉积 C: 等离子体增强化学气相沉积 D: 高压气相沉积
- 可以进行局部沉积制膜的化学气相方法是______________ 。 A: 热分解沉积 B: 化学反应沉积 C: 等离子体增强沉积 D: 光化学沉积
- 关于化学气相沉积说法正确的是() A: 等离子增强化学气相沉积的台阶覆盖性比常压化学气相沉积的要好 B: 气相质量输运控制区,对温度很敏感 C: 表面化学反应控制区,对反应剂溶度很敏感
- 薄膜沉积工艺可以分为气相沉积和(______ )两大类,气相沉积又分为(______ )气相沉积和化学气相沉积。