若抛光的温度过高，反应剧烈会放出大量的热导致抛光液沸腾，要防止抛光液溢出，应严格控制反应时间
举一反三
- 抛光区域温度的温度选择要合适，温度过高会引起抛光液的挥发及快速的化学反应，使表面腐蚀严重，抛光不均匀。温度过低，则会使反应速率降低、机械损伤严重。
- 抛光区域温度的温度选择要合适，温度过高会引起抛光液的挥发及快速的化学反应，使表面腐蚀严重，抛光不均匀。温度过低，则会使反应速率降低、机械损伤严重。 A: 正确 B: 错误
- 抛光过程中需要不断滴洒抛光液，以达到良好的抛光效果（）
- 影响 CMP质量的因素有()。 A: 抛光压力 B: 抛光液pH值 C: 转速 D: 抛光区域温度值
- CMP抛光质量的影响因素有（）。 A: 抛光压力 B: 相对速度 C: 抛光区域温度 D: 抛光液粘度、PH值 E: 磨粒尺寸、浓度及硬度