刻蚀的各向异性对于微电子工艺相当重要，干法腐蚀/刻蚀比湿法腐蚀有( )的效果/后患
A: 减少底切(undercut)
B: 产生更多工业废水
C: 造成更多废气排放
D: 可加工更细线条
A: 减少底切(undercut)
B: 产生更多工业废水
C: 造成更多废气排放
D: 可加工更细线条
举一反三
- 干法刻蚀和湿法刻蚀二者中，通常（）的刻蚀选择比较高，（）的刻蚀通常是各向异性。 A: 湿法刻蚀 干法刻蚀 B: 干法刻蚀 湿法刻蚀 C: 湿法刻蚀 湿法刻蚀 D: 干法刻蚀 干法刻蚀
- ⑰ 湿法刻蚀与干法刻蚀的比较错误的是 A: 、湿法刻蚀是各向同性的，干法刻蚀是各向异性的 B: 、湿法刻蚀由于存在侧蚀现象，不宜制作很微细的图形 C: 、干法刻蚀效果好，但工艺要求高 D: 、干法和湿法刻蚀都不存在晶体缺陷和污染等物理损伤
- 湿法腐蚀由于是基于化学反应的刻蚀工艺,所以都是各向同性的。()
- 微细加工技术中的刻蚀工艺可分为（）。 A: 湿法刻蚀 B: 干法刻蚀、 C: 混合刻蚀
- 微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种( )。 A: 离子束刻蚀、激光刻蚀 B: 干法刻蚀、湿法刻蚀 C: 溅射加工、直写加工 D: 激光刻蚀、电子束刻蚀