打磨痕迹可通过抛光除去，起抛光作用的是（）
A: A羊毛垫
B: B海绵垫
C: C抛光蜡
A: A羊毛垫
B: B海绵垫
C: C抛光蜡
C
举一反三
内容
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细蜡抛光的作用主要是消除粗蜡抛光时所产生的痕迹，使漆面更加平滑、光亮。（ ）
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用于精细抛光，有助于消除抛光纹的抛光海绵是 。 A: 粗海绵 B: 细海绵 C: 蜂窝状海绵 D: 羊毛球
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用于精细抛光，有助于消除抛光纹的抛光海绵是（）
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以下哪些是影响CMP质量的主要因素 A: 抛光液的粘度、PH值 B: 抛光区域的温度 C: 抛光的压力 D: 抛光垫的表面粗糙度
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化学机械抛光设备中的抛光垫越粗糙，抛光速率越高，抛光图形的选择性越高，平坦化抛光的效果也越好，但过于粗糙，易产生划痕。