关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入!公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入!公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入! 2022-06-16 磁控溅射提高了薄膜速率,但会使基片温度升高。 磁控溅射提高了薄膜速率,但会使基片温度升高。 答案: 查看 举一反三 磁控溅射提高了沉积速率,但会导致基片温度升高。 磁控溅射与二级溅射相比的特点是( )。 A: 靶材利用率高 B: 镀膜速率慢 C: 基片温度低、损伤小 D: 结构简单 磁控溅射为何既可以提高溅射速度又可以降低衬底温度? 磁控溅射可以增加溅射气体碰撞的概率,提高了沉积效率。 大规模镀制化合物薄膜最适合采用的溅射方法是: 。 A: 二级溅射 B: 磁控溅射 C: 射频溅射 D: 反应溅射