• 2022-06-09
    中国大学MOOC: 多晶硅的制备方法有
  • 硅烷的热分解法 二氯氢硅的氢还原法 三氯氢硅的氢还原法

    内容

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      中国大学MOOC: 高温合金宜采制备为 (单晶或多晶)材料

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      ​多晶硅的制备方法()和()‍

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      硅(Si)易于通过沉积工艺制备出单晶硅、多晶硅 和非晶硅薄膜材料。

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      多晶硅的制备方法有 。 A: 三氯氢硅的氢还原法 B: 二氯氢硅的氢还原法 C: 硅烷的热分解法 D: 直拉法

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      多晶硅薄膜的间接制备法是指先制备得到 晶硅薄膜,再通过不同的晶化技术,将其晶化为多晶硅薄膜。