关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！ 2021-04-14 MEMS主要优点有( ) MEMS主要优点有( ) 答案： 查看 举一反三 MEMS光刻与IC光刻的主要区别在于()。 A: MEMS光刻需要在更为不平整的表面上进行 B: MEMS光刻的线条更细 C: MEMS光刻都需要双面进行 简要介绍主要的MEMS制造技术。 MEMS的检测有3个方面：______检测技术、______检测、______检测。 MEMS系统主要包括传感器、执行器和相应的处理电路三部分 如果希望查找“基于MEMS技术的物联网用压力传感器”这个课题相关的文献,较好的检索词应该是:______ A: 物联网,压力传感器,MEMS,微电子机械系统 B: 物联网,传感器,MEMS C: 物联网,压力传感器 D: 压力传感器,MEMS
