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  • 2022-10-27
    目前我国半导体制造工艺主要受制于EUV光刻机。利用EUV光源进行光刻相较于普通UV可以得到更高的光刻精度,主要因为EUV的能量更小。 ( )
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    举一反三

    • 目前我国半导体制造工艺主要受制于EUV光刻机。提高光刻最小线宽还可以通过提升介质的介电常数实现。 ( )
    • 常见的几种先进光刻技术有:极紫外线(EUV)光刻技术、电子束光刻、X射线光刻、浸入式光刻技术、纳米压印技术。( )
    • 数字投影微光刻技术相较于传统平面光刻的优势为 A: 可以制造复杂3D结构 B: 精度更高 C: 无需高昂的设备和掩膜制造 D: 可对任何性质材料进行打印
    • 目前,相较于光敏树脂的打印,水凝胶的数字投影微光刻打印可以获得更高的打印精度
    • 数字投影微光刻技术相较于传统平面光刻的优势为

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      我国 进行 相较 euv 体制 因为 目前 光刻机 利用 更小 光刻 导体 可以 制造 普通 uv 能量 半导体 精度 更高 主要 光源 要因 得到 受制 目前我国 工艺

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