• 2022-10-26
    “等离子体增强化学气相沉积”,是一种化学气相沉积。
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      关于化学气相沉积说法正确的是() A: 等离子增强化学气相沉积的台阶覆盖性比常压化学气相沉积的要好 B: 气相质量输运控制区,对温度很敏感 C: 表面化学反应控制区,对反应剂溶度很敏感

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      可以进行局部沉积制膜的化学气相方法是______________ 。 A: 热分解沉积 B: 化学反应沉积 C: 等离子体增强沉积 D: 光化学沉积

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      薄膜沉积工艺可以分为气相沉积和(______ )两大类,气相沉积又分为(______ )气相沉积和化学气相沉积。

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      气相沉积法分为()和化学沉积法;化学沉积法按反应的能源可分为热能化学气相沉积、()  。

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      气相沉积法分为物理气相沉积法和化学气相沉积法。( )