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  • 2022-06-01
    中国大学MOOC: 离子注入后,杂质的浓度分布基本符合
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    举一反三

    • 离子注入后,杂质的浓度分布基本符合 A: 余误差函数 B: 高斯函数 C: 线性函数 D: 抛物线性函数
    • 离子注入控制电参量,故易于精确控制注入离子的密度分布、浓度分布可以通过改变注入能量加以控制。
    • 中国大学MOOC: 离子注入与扩散工艺相比,具有很好的均匀性,注入杂质纯度比较高。
    • 中国大学MOOC: 离子注入的结深主要有注入的能量决定,杂质浓度分布是由剂量决定。
    • 中国大学MOOC: 有限源扩散杂质分布符合

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