• 2022-07-01
    试述微波光电导法测试少子寿命的原理,并分析光强/重金属杂志对少子寿命的测量有何影响?
  • (1)原理:使用脉冲光源在样品中产生过剩载流子,样品的电导随之发生变化,而入射的微波的反射率是材料电导的函数,即反射微波的能量变化也反映了过剩载流子浓度的变化。当光照结束后,随着过剩载流子的逐渐衰减,微波的反射也越来越弱,通过分析反射微波曲线的指数因子,可求得测试样品中的有效少子寿命。(2)(光强)微波光电导法通过拟合指数衰减信号得到少子寿命的值。光强小时,处于低注入水平,一定的频率下,发射和反射微波信号差正比于非平衡载流子浓度Δn。信号呈指数衰减,即呈现出非平衡载流子衰减的规律。测量出来的少子寿命会偏小;若光强较强,样品注入电流过大可能会造成样品测量中并非小注入条件,从而使得测量的是多子的寿命,而非少子的寿命。而若电流过小,可能不易观测到少子从复合恢复到平衡状态的过程,而使测量遇到阻碍。(重金属杂质)当样品中含有重金属杂质时,重金属杂质会在样品中产生杂质能级,而成为少数载流子的复合中心,从而降低少子寿命。

    内容

    • 0

      在半导体电学性能测试实验中,本实验测少子寿命的测量方法是( ) 。 A: 高频光电导衰减法 B: 双电测四探针 C: 微波光电导衰减法 D: 离子注入

    • 1

      如果只是大致了解多晶硅中总金属杂质的水平,可以通过少子寿命值高低来确定,少子寿命值低就说明其金属杂质含量高。

    • 2

      中国大学MOOC: 少子寿命是衡量半导体质量好坏的重要指标,少子寿命越短,说明制备的半导体质量越差

    • 3

      半导体电学性能测试实验中,测少子寿命时,光源电压调到0V。

    • 4

      陷阱中心的存在会增加少子寿命